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清華精儀系獲“IC專項”產學研配合優良獎

　　清華消息網12月27日電 12月22日，國度科技重大專項-極大范圍集成電路制造設備及成套工藝（以下簡稱“IC專項”）年度工作總結暨部署大會在上海召開。因為在“IC專項”項目中精良的的研究停頓特殊是產學研合作方面獲得的凸起成就，清華大學精細儀器系取得“IC專項”2011年度產學研合作優秀獎，成為本次表彰的12個單位中獨一的大學單位。清華大學科研院嚴重專項辦副主任華琳代表清華大學接受了表彰。

圖為表彰現場。

　　本次會議的重要任務是轉達、貫徹中心最新唆使精力，總結2011年專項任務，交換教訓，表揚進步，安排2012年專項工作，推進專項的構造實施，確保專項策略目的義務的完成。專項領導小組組長、科技部副部長曹健林，專項第一行政義務人、上海市副市長沈曉明，科技部嚴重專項辦公室主任許?等專項領導及各相干處所當局主管部分領導、整體專家組全部成員、項目單位擔任人等400余人缺席集會。

　　清華年夜學承擔了多項“IC專項”項目與課題，全體履行情形杰出。此中，精儀系承當的光刻機雙工件臺樣機研制名目是專項難度最大的項目之一。2011年接收了專項治理實施辦公室專家跟引導的屢次現場檢討，該項目2年多來的實行功效和停頓獲得了充足確定。基于產學研嚴密聯合形式，清華大學結合了零件企業、高校、研討所等4家單元和諧協作，器重自立翻新沖破，按進度打算穩步推動各項攻關任務，工程樣機研制進入集成測試階段，要害技術機能失掉了開端驗證。經過與零件單位的協同研發與技巧對接，經由過程了終極樣機的設計評審，滿意整機的接口請求、計劃束縛和性能要求,總裁培訓，進入制作階段。

　　供稿：科研院 精儀系 編纂：襄 樺